少子寿命测试仪
MDPinline是为高速自动扫描硅晶片而设计的，它以每片不到一秒的时间记录少子寿命的全部形貌。利用微波检测光电导率定量测量少子寿命。凭借其紧凑的设计，MDPinline可以灵活地集成在传送带上或晶片分选系统中。详见MDPinline介绍!
多晶形貌少子寿命测量系统是为高产量生产用户而设计的。对于一个面，以1毫米的分辨率，无接触、无破坏地测量电阻率和少子寿命花费不到一分钟。电阻率和导电类型变化的自动扫描可用于质量控制和监测炉子性能。面可以自动转动，以便测量所有的四个侧面。详见MDPinline ingot介绍!
各种不同的样品，从单晶硅到多晶硅，从生长的晶片到加工过的晶片，都可以通过MDPlinescan使用少子寿命测量进行检测。硬件系统被灵活地安装来执行样本的逐行扫描。该软件接口便于与处理系统或自动化系统进行简单的连接和通信。详见MDPlinescan介绍!
少子寿命测量仪器的特征在于以1mm分辨率对500mm的一个面在不到4分钟内完成扫描。电阻率和少子寿命的测量完全无触摸。利用微波检测光电导率(MDP)同时测量少子寿命、光电导率、电阻率和p/n导电类型的变化。详见MDPpro介绍!
离线工具MDPmap是专为半导体晶片或部分工艺过的晶片的多功能、非接触和少子寿命测量而设计的。MDPmap能够连续地改变激发脉冲宽度，从非常短的脉冲(100ns)到稳态测量(几ms)，研究不同深度的缺陷动力学和少子寿命特性。直观的绘图软件适用于有效的常规测量以及复杂的研发应用。详见MDPmap介绍!
具有成本效益的台式少子寿命测试仪MDPspot可用于表征晶片或面。它为少子寿命测量提供了一个测量点。详见MDPspot介绍!
