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反射膜厚仪RM 1000和RM 2000

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扩展折射率指数测量极限

我们的反射仪的特点是通过样品的高度和倾斜调整进行精确的单光束反射率测量,光学布局的高光导允许对n和k进行重复测量,对粗糙表面进行测量以及对非常薄的薄膜进行厚度测量。

紫外-近红外光谱范围

RM 1000 430 nm – 930 nm

RM 2000 200 nm – 930 nm

高分辨率自动扫描

反射仪RM 1000和RM 2000可以选配x-y自动扫描台和自动扫描软件、用于小光斑尺寸的物镜和摄像机。


反射膜厚仪RM 1000和RM 2000测量具有光滑或粗糙表面的平坦或弯曲样品的反射率。利用SENTECH FTPadv Expert软件计算单层或层叠膜的厚度、消光系数和折射率指数。在紫外-可见光- 近红外光谱范围内,可以分析5nm~50μm厚度的单层膜、层叠膜和基片。

RM 1000和RM 2000代表高端SENTECH反射仪。台式装置包括高度稳定的光源、具有自动准直透镜和显微镜的反射光学部件、高度和倾斜可调的样品台、光谱光度计和电源。它可以选配x-y自动扫描台和自动扫描软件、用于小光斑尺寸的物镜和摄像机。

除了膜厚和光学常数之外,我们的反射仪还可以测量薄膜(例如,AlGaN on GaN,SiGe on Si)、防反射涂层(例如,纹理硅太阳能电池上的防反射涂层、紫外敏感GaN器件上的防反射涂层),以及小型医用支架上的防反射涂层。该反射仪支持在微电子、微系统技术、光电子、玻璃涂层、平板技术、生命科学、生物技术等领域的应用。

Thickness map of photoresist / Si (substrate) with step size of 50 µm and 25 µmReflection measurement on rough surfacesX-y mapping stage11

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