SENTECH是等离子刻蚀、等离子沉积、原子层沉积和原位测量设备的专业制造商，介绍了在刻蚀硅和III-V化合物、在ICPECVD用介质膜沉积用作器件钝化、在ALD光学和高频器件应用方面的新的成果。以及先进的自动化。
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SenSol是SENTECH光伏产品组合中的自动大面积扫描仪器。自动表征膜厚、薄层电阻、雾度、反射和透射的均匀性。使用SenSol，可以监测大型玻璃基板上的沉积过程的均匀性，从而可以显著减少仪器维护后重新开始生产的时间。详见SenSol 介绍!
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反射率、透射率和膜厚的高速在线测量是RT Inline的设计特点。传感器头阵列扫描薄膜在大型玻璃基板上的反射和/或透射，作为内部参考测量。利用FTPadv Expert软件可以方便地进行层沉积过程的在线监测。软件接口可用于与主机的数据通信。详见RT Inline介绍!
SENTECH is proud to launch a new small footprint load lock that is now integrated in all SENTECH plasma deposition and etching systems.→read more
