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光谱椭偏仪SENresearch 4.0

光谱椭偏仪

宽光谱范围和高光谱精度

SENresearch 4.0 光谱椭偏仪覆盖宽的光谱范围,从190 nm(深紫外)到3500 nm(近红外)。傅立叶红外光谱仪FTIR提供了高光谱分辨率用以分析厚度高达200μm的厚膜。

没有光学器件运动(步进扫描分析器原理)

为了获得测量结果,在数据采集过程中没有光学器件运动。步进扫描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光谱椭偏仪的一个独特特性。

双补偿器2C全穆勒矩阵测量

通过创新的双补偿器2C设计扩展了步进扫描分析器SSA原理,允许测量全穆勒矩阵。该设计是可现场升级和实现成本效益的附件。

SpectraRay/4综合椭偏仪软件

SpectraRay/4 是用于先进材料分析的全功能软件包。SpectraRay/4 包括用于与引导图形用户界面进行研究的交互模式和用于常规应用的配方模式。


SENresearch 4.0 是SENTECH新的光谱椭偏仪。每一台SENresearch 4.0光谱椭偏仪都是根据客户具体配置的光谱范围、选项和现场可升级附件而制造的。

SENresearch 4.0 使用快速的傅立叶红外光谱仪FTIR测量至2500 nm或3500 nm的近红外光谱。它提供了宽的光谱范围,具有的信噪比,可选择的光谱分辨率。可测量硅薄膜厚度高达200μm。傅立叶红外光谱仪FTIR的测量速度与二极管阵列配置相比,也可选择高达1700纳米。

新的金字塔形状的自动角度计具有从20度到100度的角度范围。光学编码器确保精度和角度设置的长期稳定性。光谱椭偏仪手臂可以独立移动,用于散射测量和角度分辨透射测量。

SENresearch 4.0 根据步进扫描分析器(SSA)原理进行操作。SSA将强度测量与机械运动分离,从而允许分析更加粗糙的样品。所有光学部件在数据采集期间都处于静止状态。此外,SENresearch 4.0 包括用于自动扫描和同步应用的快速测量模式。

定制的SENresearch 4.0椭偏仪可以配置用于标准和高级应用。例如介电层堆叠、纹理表面、光学和结构(3D)各向异性样品。为各种各样的应用提供了预定义的配方。


Spectral ranges for configuring the SENresearch 4.0New computer controlled Pyramid Goniometer optionSpectroscopic ellipsometer with field upgradable microspot accessorySpectroscopic ellipsometer with field upgradable heating stageSpectroscopic ellipsometer with ~1 ml liquid cellReflection measurement at 20° using motorized Pyramid GoniometerField upgradable sample stage with automated hight and tilt adjustmentSpectroscopic ellipsometer with setup for transmission measurementSpectroscopic ellipsometer with field upgradable x-y mapping stageSpectroscopic ellipsometer with setup for transmission measurement11Spectroscopic ellipsometer with cryostatMicrospot measurement on Si-sphereSpectroscopic ellipsometer for process monitoring

 

SpectraRay/4 是SENresearch 4.0光谱椭偏仪的综合软件。它包括两种操作模式:配方模式和交互模式。配方模式允许轻松执行常规应用程序。交互式模式通过交互式图形用户界面引导通过椭偏测量。

SpectraRay/4 提供了光谱椭偏仪测量和分析的所有工具。

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