MDPspot灵活的自动扫描系统

低成本桌面式寿命测量系统，用于手动操作表征不同制备阶段的各种不同硅样品。可选的手动操作Z轴用于厚度多达156毫米的样品。标准软件可输出可视化的测量结果。

MDPspot包括附加电阻率测量选项。只测量硅的电阻，对于没有高度调节可能性的晶片，或者对于砖。这两个选项中的一个是预先定义的。

优势

• 用于单点测量少子寿命的台式装置，可测量多晶或单晶硅在不同制备阶段，从成长到后面器件。
  
• 体积小，成本低，使用方便。附带一个基本软件，用于在小型电脑或笔记本上输出可视化的测量结果。
  
• 适用于晶片上的砖，易于进行高度调整。