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少子寿命测试

MDPspot灵活的自动扫描系统

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低成本桌面式寿命测量系统,用于手动操作表征不同制备阶段的各种不同硅样品。可选的手动操作Z轴用于厚度多达156毫米的样品。标准软件可输出可视化的测量结果。

MDPspot包括附加电阻率测量选项。只测量硅的电阻,对于没有高度调节可能性的晶片,或者对于砖。这两个选项中的一个必须是预先定义的。

优势

  • 用于单点测量少子寿命的台式装置,可测量多晶或单晶硅在不同制备阶段,从成长到后面器件。
  • 体积小,成本低,使用方便。附带一个基本软件,用于在小型电脑或笔记本上输出可视化的测量结果。
  • 适用于晶片上的砖,易于进行高度调整。


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