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低成本高效益的光谱椭偏仪SENpro

成本有效的椭圆偏振光谱仪

成本效益

SENpro是具成本效益的光谱椭偏仪,同时不影响先进测量性能。

可变入射角

光谱椭偏仪SENpro包括可变入射角的角度计,40°—90°,步进值5°,用于优化椭偏测量。

步进扫描分析器

SENpro具有独特的步进扫描分析器。在数据采集过程中,偏振器和补偿器固定,以提供高的椭偏测量精度。


光谱椭偏仪SENpro具有操作简单,测量速度快,能对不同入射角的椭偏测量数据进行组合分析等特点。光谱范围为370到1050 nm。SENpro的光谱范围与精密的SpectraRay/4软件相结合,可以轻易地确定单层膜和复合层叠膜的厚度和折射率。

具有成本效益的桌面式SENpro包括可见光到近红外椭偏仪光学,5°步进角度计,样品台、激光准直器、光纤耦合稳定光源和探测器单元。SENpro配备了用于系统控制和数据分析的光谱椭偏仪软件SpectraRay/4 ,用于包括建模,拟合和报告输出。即使对于初学者,该程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持计算机控制的用于均匀性测量的自动扫描。

SENpro专注于薄膜测量的速度和精度,不管是何种薄膜应用。测量范围从1 nm的极薄层膜到15 μm的厚层膜。

对于各种各样的应用,SpectraRay/4都提供了预定义的配方。

Manual goniometer with 5° stepsComplete set: SENpro spectroscopic ellipsometer with controller and laptopSpectroscopic ellipsometer SENpro for easy handling

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