薄膜测量仪器
反射膜厚仪RM 1000/2000具有200nm-930nm的紫外-近红外光谱范围。光学布局为光吞吐量优化，以便即使在粗糙或曲面上也能可靠地测量n和k。准确的高度和倾斜特别适用于准确的单光束反射率测量，且测量非常稳定。详见RM1000/2000介绍!
激光椭偏仪SE 400adv测量透明薄膜的厚度和折射率指数，具有测量速度、亚埃级别的厚度精度和折射率测定的精度。多角度测量允许使用激光椭偏仪SE 400adv表征吸收膜特征。详见SE 400adv介绍!
新的SENresearch 4.0设计用于光谱椭偏仪，在宽的光谱范围从190nm（深紫外）到3,500 nm（近红外）。每一台SENresearch 4.0都是客户特定的椭偏光谱解决方案。SENresearch 4.0可以配置用于全穆勒矩阵、各向异性、广义椭偏、散射测量等。使用步进扫描分析器原理实现测量结果。详见SENresearch 4.0介绍！
SENpro椭偏仪是椭偏仪应用的智能解决方案。它具有角度计，入射角度步进值5°。操作简单，快速测量和直观的数据分析相结合，以低成本效益高的设计来测量单层和多层膜的厚度和光学常数。详见SENpro介绍！
振动光谱的特点是傅立叶红外光谱仪FTIR。测量红外分子振动模的吸收谱带，分析长分子链的走向和薄膜的组成。红外光谱椭偏仪适用于测量导电膜的电荷载流子浓度。详见SENDIRA介绍!
FTPadv是一种具有成本效益的台式反射膜厚仪解决方案，它具有非常快速的厚度测量。在100毫秒以内进行测量，其精度低于0.3nm，膜厚范围在50 nm -25 µm。为了便于分光反射测量操作，该仪器包括了范围广泛的预定配方。详见FTPadv介绍!
SENDURO®全自动光谱椭偏仪包括基于测量处方的仅在几秒钟内即可完成的快速数据分析。椭圆仪的设计是为了便于操作：放置样品，自动样品对准，自动测量和分析结果。在全自动模式下使用光谱椭偏仪非常适合于质量控制和研发中的常规应用。详见SENDURO®介绍!
光谱反射测量软件FTPadv Expert是专门为测量和分析R(λ)和T(λ)而设计的。用于确定各种材料的薄膜厚度、消光系数或折射率的光谱数据分析，这些参数都被加载到SENTECH光谱反射测量软件中，使得能够根据Cauchy色散、Drude振荡给出的参数描述和拟合材料。详见FTPadv expert 介绍!
椭偏仪SE 500adv将激光椭偏仪和反射仪结合在一个系统中。这种组合允许零度反射法用于快速薄膜分析，并且允许透明膜以激光椭偏仪的亚埃精度将可测量的厚度范围扩展到25埃米，从而明确地确定厚度。详见SE 500adv介绍!
光谱椭偏软件SpectraRay/4 的设计基于直观的工作流程。因此，SpectraRay/4 包括具有两步动作(开始测量，结果)的测量处方模式和用于逐步数据分析的交互模式。SpectraRay/4 的综合软件包支持广义椭偏，穆勒矩阵，散射法(3D轮廓仪)、各向异性和建模。详见SpectraRay/4 介绍!
