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激光椭偏仪SE 400adv PV

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防反射涂层的国际标准

目前国内外已有330多台SE 400adv PV激光椭偏仪用于表征防反射膜。

粗糙表面分析

高灵敏度和超低噪声检测允许在非理想,杂散光造成表面的测量,典型的纹理单晶和多晶硅太阳能电池。

高度准确

SE 400adv PV激光椭偏仪具有稳定的激光光源、稳定的温度补偿装置、超低噪声探测器,因而具有极高的稳定性和精度。


多角度激光椭偏仪SE 400adv PV在632.8nm的氦氖激光波长下,在纹理化的单晶和多晶硅片上提供防反射单膜的膜厚和折射率。可更换的晶片载片器允许对多晶晶片和碱性织构的单晶晶片进行测量。

激光椭偏仪SE 400adv PV特别适用于分析SiNx、ITO、TiO2薄膜以及SiO2和Al2O3薄膜钝化层。双层堆叠膜可以在光滑的基板上进行分析。

SE 400adv PV是一种紧凑的仪器,快速上升和运行。SENTECH简单易用,基于配方的软件包括符合研发和生产环境质量控制要求的预定义应用程序的综合包。

一种用于光伏应用的便携式激光椭偏仪可用于在整个生产线运行之前,建立和测试大型PECVD设备。

Laser ellipsometer SE 400adv PV with different table optionsSE 400adv PV laser ellipsometer setManual goniometer from 40° to 90°, set in steps of 5°Laser ellipsometer SE 400adv PV with portability option

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