推出新的光谱椭偏仪SENresearch 4.0
SENTECH仪器是等离子刻蚀和沉积工艺设备和基于椭偏光谱的薄膜测量仪器的供应商。
SENTECH隆重地提出了新的光谱椭偏仪SENresearch 4.0。
SENresearch 4.0是一种创新的椭偏测量解决方案，它具有宽的光谱范围和高的光谱分辨率。步进扫描分析器(SSA)原理用于椭偏测量，即在数据采集过程中没有移动光学部件以获得佳测量结果。强度测量与机械运动分离。通过创新的2C设计扩展了SSA原理，允许测量完整的米勒矩阵。SENresearch 4.0附带了SpectraRay/4，用于高级材料分析的新的综合椭偏测量软件。
宽光谱范围
SENresearch 4.0是世界上可以配置成光谱范围从190nm到3500nm(紫外到近红外)的椭偏仪。此外，它具有高的光谱分辨率。厚膜(高达200μm)可以通过FTIR椭偏仪进行分析。该光谱椭偏仪被配置为完全符合用户的个人应用需求。
SENResearch4.0有一个计算机控制的角度仪和一个手动角度仪。新型计算机控制的金字塔角度仪具有20—100度的角度范围，光谱椭偏仪臂可以独立移动，用于散射测量和角度分辨透射测量。
SENresearch 4.0的创新设计允许对生长、沉积和刻蚀工艺进行时间分析。允许很容易地从反应室中移除椭圆仪臂，并连接到角度仪。
选项和附件的新模块化概念
SENresearch 4.0光谱椭偏仪拥有大量现场升级的配件和选项。自动扫描、各向异性样品的转台、用于全米勒矩阵测量的2C选项、基于视频的自动高度和倾斜调整、微斑、液体电池、加热和冷却台以及变速器保持架等等。附件可以直接与椭圆仪购买或购买后现场升级。SENresearch 4.0可升级附件来适用于不同的应用测量。
SENresearch 4.0是研究新材料、复杂层叠以及二维和三维周期性结构样品的理想研发工具。有关新的SENresearch 4.0的更多信息，请联络我们或通过邮件与我们联系：info@sentech-instruments.com.cn
